
理查官网365be体育•诺瓦克Ph值.D.
专业经验
- 半导体过程工程
- 半导体资本设备
- 外延生长技术
- 砷化镓过程开发
- 半导体干湿清洗技术
Dr. 理查官网365be体育E. 诺瓦克获得了博士学位.D. 来自伊利诺伊大学陶瓷工程专业. 他是RCA实验室技术人员的一员,在十年时间里,他专注于形状蓝宝石材料的晶体生长和蓝宝石上硅蓝宝石晶片的制备或SOS技术. 他的晶圆清洁工作始于1985年,当时他加入了FSI International,担任实验室主任, 后来成为首席技术专家. 在那里,他帮助开发了水星MP喷雾加工工具, 发起单片干洗的研究和使用点化学生成. 1991年6月. 诺瓦克加入亚微米系统公司, 后来成为Akrion Systems,他在那里担任高级技术副总裁,直到2008年离开.
Dr. Novak与宾夕法尼亚州立大学的Ruzyllo博士共同开发了晶圆清洗国际研讨会, 由电化学学会主办, 自1989年成立以来,一直担任项目联合主席,直到2017年的会议. Dr. Novak是ECS研讨会“半导体制造中的缺陷和污染控制II”的项目主席。, 这是1993年春天的一部分, 火奴鲁鲁, 夏威夷会议. 他是微污染技术咨询委员会的成员,并以作者的身份参与研究, 1988年召开的年度微污染会议的专家小组成员和会议主席, 1989, 1990, 1991, 1992年和1993年. 他曾作为组长参与SEMATECH的晶圆清洗车间,以及无污染制造(CFM)工作组. Dr. 诺瓦克曾为美国各地的半导体制造商做过有关晶圆清洗的技术演示, 欧洲和远东.
他开发了可以同时生长多个晶体的晶体生长技术,以及晶体拉拔硬件. 他带领一个团队将这项技术转移到RCA的一个生产现场. 他还参与了蓝宝石晶圆上硅的外延生长. In 1980, 他加入霍尼韦尔的VHSIC项目,开发先进的化学汽相淀积和减压外用工艺, 以及先进的金属化技术. Dr. 诺瓦克于1983年转到霍尼韦尔的企业技术中心,从事GaAs工艺开发工作,并将该技术转移到生产基地.
Novak博士的咨询业务专注于IDM的设备开发、清洁和微污染活动,以及设备和组件制造商, 如Entegris, 笼罩在公司, Veeco, 康宁玻璃, 霍尼韦尔, 希捷, 极性半导体, Skywater技术, 和几家湿化学工具制造商,